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50枚バッチ式プラズマ処理装置WPAシリーズ

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WPAは同軸バレル構造の50枚バッチ式プラズマ処理装置です。

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサにより、各種アッシング
条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置です。

WPAの装置では、シリコンウェハー上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマにより、低ダメージで
灰化除去(アッシング)及び表面改質などの多様なプロセス用途に利用出来るフルオートマチックドライアッシング処理装置です。

 

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