本製品は、平行平板のバッチ式プラズマクリーナーです。
コントロールパネル上の操作のみでDP(ダイレクトプラズマ)モードとRIE(リアクティブイオンエッチング)モードの2種類の
プラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセスに
利用出来ます。
応用例
・プラスチックパッケージ、ハイブリッドＩＣなどの表面改質
・フォトレジストアッシング
・繊維や高分子材料などの表面改質
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